精细线条光刻工艺研究

    • 摘要: 本文研究了国产7205聚脂胶分辨率与胶膜厚度的关系。初步实验证明对于国产7205聚脂胶,分辨率是膜厚的5~6倍。同时研究了针孔与膜厚的关系。实验结果表明针孔数目与膜厚关系很大,薄胶膜针孔数可高至2000以上,而厚胶膜针孔降至20以下。

       

    /

    返回文章
    返回